gravure par ions réactifs
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Définition :
Technique de gravure permettant de reproduire des motifs nanométriques ou micrométriques dans un matériau, qui consiste à sculpter sa surface en projetant sur elle des particules ionisées issues d'un plasma, certaines donnant naissance à des groupes d'atomes hautement réactifs qui attaquent chimiquement cette surface et d'autres demeurant des ions de haute énergie qui l'attaquent physiquement.
Termes privilégiés :
- gravure par ions réactifs n. f.
- gravure ionique réactive n. f.
Traductions
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anglais
Auteur : Office québécois de la langue française,Termes :
- reactive-ion etching
- RIE