dépôt physique en phase vapeur
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Définition :
Procédé par lequel se forme une couche mince sur une surface lorsqu'une substance chimique soumise à des contraintes physiques passe à l'état de vapeur et vient se déposer sur un matériau en retournant à l'état solide.
Termes privilégiés :
- dépôt physique en phase vapeur n. m.
- dépôt physique en phase gazeuse n. m.
- dépôt en phase vapeur n. m.
Traductions
-
anglais
Auteur : Office québécois de la langue française,Termes :
- physical vapor deposition
- PVD
- physical vapour deposition
- physical gas phase deposition