dépôt chimique en phase vapeur assisté par filament chaud
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Définition :
Technique de dépôt chimique en phase vapeur dans laquelle on utilise un filament métallique chauffé pour accélérer la décomposition des gaz desquels sont issues les molécules qui viennent se déposer sur une surface.
Note :
La technique du dépôt chimique en phase vapeur assisté par filament chaud est utilisée pour la fabrication de nanotubes de carbone.
Termes privilégiés :
- dépôt chimique en phase vapeur assisté par filament chaud n. m.
- dépôt en phase vapeur assisté par filament chaud n. m.
- dépôt chimique en phase vapeur assisté par un filament chaud n. m.
- dépôt en phase vapeur assisté par un filament chaud n. m.
Traductions
-
anglais
Auteur : Office québécois de la langue française,Termes :
- hot-wire chemical vapor deposition
- HWCVD
- hot-wire CVD
- hot-filament chemical vapor deposition
- HFCVD
- hot-filament CVD