attaque directe par faisceaux d'électrons
- Domaine
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- électronique
Note :
L'urgence d'aller plus loin en densité / d'intégration / fait sortir des laboratoires, en 1977, des appareils de principes nouveaux : l'attaque directe des galettes par faisceaux d'électrons, supprimant les masques eux-mêmes pour les remplacer par un programme de guidage du faisceau, permet de descendre en dessous du micron avec des machines capables de 20 à 25 galettes par heure.
Terme :
- attaque directe par faisceaux d'électrons n. f.
Traductions
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anglais
Auteur : IBMOT : banque de données terminologiques,Note :
Lithography is necessary to define the small geometries required in integrated circuits. Electron-beam direct patterning can be performed, without a mask, by using a controllable electron beam and an electron-sensitive resist.
Terme :
- electron-beam direct patterning