électrocomposeur
- Domaine
-
- électronique
Définition :
Appareil destiné au tracé de masques à l'échelle 10 au moyen d'un faisceau électronique.
Note :
Cet appareil comporte un dispositif d'optique électronique projetant un faisceau carré, la description du dessin est faite par la combinaison d'un balayage électronique du faisceau et d'un déplacement mécanique de l'échantillon.
Terme :
- électrocomposeur n. m.
Traductions
-
anglais
Auteur : IBMOT : banque de données terminologiques,Note :
The manufacture of large-scale integrated circuits begins with the computer-aided design of the circuit element. The complex design structure of the resulting IC die is converted into a set of reticle masks, using either optical- or electron-beam pattern generators.
Termes :
- electron-beam pattern generator
- EPG
- electron-beam maskmaker
- electron-beam mask generator