appareil de gravure par plasma
- Domaine
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- électronique semi-conducteur
Définition :
Appareil conçu pour la gravure des tranches de semiconducteur, et utilisant l'action d'un plasma dans un réacteur.
Terme :
- appareil de gravure par plasma n. m.
Traductions
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anglais
Auteur : IBMOT : banque de données terminologiques,Terme :
- plasma etcher