pulvérisation réactive
- Domaine
-
- électronique semi-conducteur
Définition :
Technique de pulvérisation dans laquelle, afin de modifier les propriétés de la couche déposée, on introduit dans l'enceinte du réacteur un gaz réactif, tel que l'azote ou l'oxygène, qui entre en réaction avec le corps soumis à la pulvérisation.
Terme :
- pulvérisation réactive n. f.
Traductions
-
anglais
Auteur : IBMOT : banque de données terminologiques,Termes :
- reactive sputtering
- reactive cathode sputtering