dépôt par évaporation sous vide
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Définition :
Dépôt d'une couche métallique sur un substrat dans une enceinte sous vide.
Notes :
Le procédé de dépôt par évaporation sous vide est sans doute le plus simple et on l'utilise couramment pour réaliser la couche métallique conductrice de la plupart des circuits intégrés.
Le métal est chauffé et permet ainsi aux atomes d'avoir l'énergie nécessaire pour se libérer de la surface et de circuler librement dans l'enceinte pour se combiner à nouveau.
Cette technique est aussi utilisée pour recouvrir les disques audionumériques d'une couche réfléchissante.
Terme privilégié :
- dépôt par évaporation sous vide n. m.
Traductions
-
anglais
Auteur : Office québécois de la langue française,Termes :
- vacuum deposition
- vapor deposition
- vapor evaporation