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nanotechnologie
électronique
Office québécois de la langue française, 2005
Technique de lithographie qui consiste à reproduire le motif d'une structure micrométrique ou nanométrique dans une résine sensible déposée à la surface d'un matériau en utilisant un faisceau d'électrons comme outil d'impression.
La technique la plus répandue consiste à utiliser un faisceau d'électrons pour réaliser un motif directement dans la résine, sans l'aide d'un masque. Cette fiche fait partie du vocabulaire Réinventer le monde par la nanotechnologie.
lithographie par faisceau d'électrons n. f.
LFE n. f.
lithographie par faisceau électronique n. f.
lithographie à faisceau d'électrons n. f.
lithographie à faisceau électronique n. f.
lithographie électronique n. f.
Dans tous ces termes, faisceau peut s'écrire au pluriel : lithographie par faisceaux d'électrons, lithographie par faisceaux électroniques, lithographie à faisceaux d'électrons et lithographie à faisceaux électroniques.
electron beam lithography
EBL
e-beam lithography
Centre de terminologia Termcat, 2008
Conjunt de tècniques de litografia que permeten reproduir, en una resina dipositada a la superfície d'un material, el motiu d'una estructura micromètrica o nanomètrica utilitzant un feix d'electrons com a mitjà d'impressió.
litografia per feix d'electrons n. f.
litografia electrònica n. f.
Grupo Argentino de Terminología, 2007
Universidad Pontificia Comillas, 2007
Conjunto de técnicas de litografía que utilizan un haz de electrones para imprimir el patrón de una estructura micrométrica o nanométrica en una resina fotosensible depositada sobre la superficie del material a estructurar.
litografía por haz de electrones s. f.
litografía electrónica s. f.
litografía de electrones s. f.
Argentine
litografía de haz electrónico s. f.
Espagne
EBL s. f.
Università di Bologna, 2008
Questa tecnica litografica può essere implementata con varie modalità di scansione del wafer; una delle tecniche è definita a pettine e consiste nella deflessione del fascio un una sola direzione mentre il wafer viene mosso meccanicamente nella direzione perpendicolare all'altra.
litografia a fascio di elettroni s. f.
electron beam lithography s. f. inv.
litografia EBL s. f.
Instituto de Linguística Teórica e Computacional, 2009
Grupo de Estudos e Pesquisas em Terminologia – Universidade Federal de São Carlos, 2009
litografia por feixe de elétrons s. f.
Brésil
LFE s. f.
Portugal
litografia por feixes de electrões s. f.
litografia electrónica s. f.
litografia eletrônica s. f.
Institutul de Lingvistică „Iorgu Iordan – Al. Rosetti”, 2007
litografie cu fascicul de electroni s. f.
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