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Fiche terminologique

FICHE TERMINOLOGIQUE

Interrogation 
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lithographie par faisceau d'électrons

Domaines

nanotechnologie

électronique

Auteur

Logo identifiant une fiche rédigée par l’Office québécois de la langue française Office québécois de la langue française, 2005

Définition

Technique de lithographie qui consiste à reproduire le motif d'une structure micrométrique ou nanométrique dans une résine sensible déposée à la surface d'un matériau en utilisant un faisceau d'électrons comme outil d'impression.  

Notes

La technique la plus répandue consiste à utiliser un faisceau d'électrons pour réaliser un motif directement dans la résine, sans l'aide d'un masque.

Cette fiche fait partie du vocabulaire Réinventer le monde par la nanotechnologie.  

Termes jugés adéquats pour désigner le concept à l’intérieur d’un domaine spécialisé, conformes au système linguistique du français ou acceptables en vertu des politiques officielles de l’Office

Termes privilégiés

lithographie par faisceau d'électrons   n. f.

LFE   n. f.

lithographie par faisceau électronique   n. f.

LFE   n. f.

lithographie à faisceau d'électrons   n. f.

LFE   n. f.

lithographie à faisceau électronique   n. f.

LFE   n. f.

lithographie électronique   n. f.

Dans tous ces termes, faisceau peut s'écrire au pluriel : lithographie par faisceaux d'électrons, lithographie par faisceaux électroniques, lithographie à faisceaux d'électrons et lithographie à faisceaux électroniques.

Anglais

Auteur

Logo identifiant une fiche rédigée par l’Office québécois de la langue française Office québécois de la langue française, 2005

Termes

electron beam lithography   

EBL   

e-beam lithography   

Catalan

Auteur

Centre de terminologia Termcat, 2008

Définition

Conjunt de tècniques de litografia que permeten reproduir, en una resina dipositada a la superfície d'un material, el motiu d'una estructura micromètrica o nanomètrica utilitzant un feix d'electrons com a mitjà d'impressió.  

Termes

litografia per feix d'electrons   n. f.

litografia electrònica   n. f.

Espagnol

Auteurs

Grupo Argentino de Terminología, 2007

Universidad Pontificia Comillas, 2007

Définition

Conjunto de técnicas de litografía que utilizan un haz de electrones para imprimir el patrón de una estructura micrométrica o nanométrica en una resina fotosensible depositada sobre la superficie del material a estructurar.  

Termes

litografía por haz de electrones   s. f.

litografía electrónica   s. f.

litografía de electrones   s. f.

Argentine

litografía de haz electrónico   s. f.

Espagne

EBL   s. f.

Italien

Auteur

Università di Bologna, 2008

Définition

Questa tecnica litografica può essere implementata con varie modalità di scansione del wafer; una delle tecniche è definita a pettine e consiste nella deflessione del fascio un una sola direzione mentre il wafer viene mosso meccanicamente nella direzione perpendicolare all'altra.  

Termes

litografia a fascio di elettroni   s. f.

electron beam lithography   s. f. inv.

litografia EBL   s. f.

Portugais

Auteurs

Instituto de Linguística Teórica e Computacional, 2009

Grupo de Estudos e Pesquisas em Terminologia – Universidade Federal de São Carlos, 2009

Termes

litografia por feixe de elétrons   s. f.

Brésil

LFE   s. f.

Portugal

litografia por feixes de electrões   s. f.

Portugal

litografia electrónica   s. f.

Portugal

litografia eletrônica   s. f.

Brésil

Roumain

Auteur

Institutul de Lingvistică „Iorgu Iordan – Al. Rosetti”, 2007

Terme

litografie cu fascicul de electroni   s. f.