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Fiche terminologique

FICHE TERMINOLOGIQUE

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lithographie par projection de faisceau d'électrons

Domaines

nanotechnologie

électronique

Auteur

Logo identifiant une fiche rédigée par l’Office québécois de la langue française Office québécois de la langue française, 2005

Définition

Technique de lithographie dans laquelle un faisceau d'électrons, généralement dirigé par un système de lentilles électromagnétiques, est projeté, à travers un masque de type stencil, en direction de la résine sensible dans laquelle le motif d'une structure micrométrique ou nanométrique doit être reproduit.  

Note

Cette fiche fait partie du vocabulaire Réinventer le monde par la nanotechnologie.  

Termes jugés adéquats pour désigner le concept à l’intérieur d’un domaine spécialisé, conformes au système linguistique du français ou acceptables en vertu des politiques officielles de l’Office

Termes privilégiés

lithographie par projection de faisceau d'électrons   n. f.

lithographie par projection de faisceau électronique   n. f.

lithographie par projection électronique   n. f.

lithographie électronique par projection   n. f.

lithographie électronique de projection   n. f.

Dans lithographie par projection de faisceau d'électrons et lithographie par projection de faisceau électroniques, faisceau peut s'écrire au pluriel.

Anglais

Auteur

Logo identifiant une fiche rédigée par l’Office québécois de la langue française Office québécois de la langue française, 2005

Termes

electron beam projection lithography   

electron projection lithography   

EPL   

projection electron lithography   

Catalan

Auteur

Centre de terminologia Termcat, 2008

Définition

Tècnica de litografia en què un feix d'electrons, generalment dirigit per un sistema de lents electromagnètiques, és projectat, a través d'una màscara que conté el patró d'una estructura micromètrica o nanomètrica, en direcció a la resina sensible en què cal reproduir el motiu.  

Termes

litografia per projecció de feix d'electrons   

litografia electrònica per projecció   n. f.

litografia per projecció electrònica   n. f.

Espagnol

Auteurs

Grupo Argentino de Terminología, 2007

Universidad Pontificia Comillas, 2007

Définition

Técnica de litografía que consiste en dirigir mediante lentes electrostáticas, un haz de electrones a través de una máscara tipo esténcil para recrear el motivo de una estructura micrométrica o nanométrica en la superficie de una resina fotosensible depositada sobre la superficie del material a estructurar.  

Termes

litografía de proyección electrónica   s. f.

Argentine

litografía de cañón de electrones   s. f.

Espagne

litografía por bombardeo electrónico   s. f.

Espagne

Italien

Auteur

Università di Bologna, 2008

Définition

Procedimento della litografia che impiega fasci di elettroni per l’illuminazione.  

Termes

litografia EPL   s. f.

electron projection lithography   s. m. inv.

Portugais

Auteurs

Instituto de Linguística Teórica e Computacional, 2009

Grupo de Estudos e Pesquisas em Terminologia – Universidade Federal de São Carlos, 2009

Termes

litografia por feixe de elétrons   s. f.

Brésil

litografia por feixes de electrões   s. f.

Portugal

litografia electrónica   s. f.

Portugal

litografia eletrônica   s. f.

Brésil

Roumain

Auteur

Institutul de Lingvistică „Iorgu Iordan – Al. Rosetti”, 2007

Terme

litografie prin proiecţie cu fascicul de electroni   s. f.