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Fiche terminologique

FICHE TERMINOLOGIQUE

Interrogation 
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précision d'alignement

Domaine

électronique

Auteur

IBMOT : banque de données terminologiques, 1987

Note

La réalisation du circuit MOS est beaucoup plus simple que celle du bipolaire. Le coût de réalisation est donc moins cher pour une double raison : - le nombre des opérations de réalisation est limité; - les risques de précision d'alignement insuffisante des masques sont réduits en technologie MOS.  

Terme

précision d'alignement   n. f.

Anglais

Auteur

IBMOT : banque de données terminologiques, 1987

Notes

Improving the lithographic and etch capabilities in semiconductor processing is the most apparent requirement in the shrinking of circuits. Enhanced resolution and more precise alignment accuracy are pushing the lithographic process to the use of direct wafer step and repeat for high performance circuit fabrication.  

Termes

alignment accuracy   

registration accuracy   

overlay accuracy   

positional accuracy   

overlay precision